TU Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien (ZFM), Reinraum Ersatzneubau, Gebäudeplanung

Das ZFM ist eine spezielle Forschungseinheit der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Forschungsziele des Zentrums sind innovative Verfahren und Materialien für die Mikro- und Nanoelektronik, die Herstellung von Prototypen und Pilotserien sowie die Ausbildung von wissenschaftlichem Nachwuchs.
NF 2.726 m²